THÔNG TIN TÓM TẮT VỀ NHỮNG KẾT LUẬN MỚI CỦA LUẬN ÁN TIẾN SĨ
(Thông tin đưa lên trang Web)
Tên luận án: “Nghiên cứu thiết kế và mô phỏng hoạt động của bộ vi chấp hành mũi dò quét định hướng ứng dụng khắc các cấu trúc nano”
Ngành: Khoa học Vật liệu
Mã số: 9440122
Nghiên cứu sinh: Đặng Văn Hiếu
Người hướng dẫn khoa học:
1. PGS.TS. Chu Mạnh Hoàng
2. TS. Vũ Thu Hiền
Cơ sở đào tạo: Trường Đại học Bách khoa Hà Nội
TÓM TẮT KẾT LUẬN MỚI CỦA LUẬN ÁN
1. Luận án đã đề xuất và thiết kế mô phỏng bộ chấp hành dịch chuyển một chiều phương z hạn chế được nhiều kết cặp cơ. Các cấu trúc lò xo dầm dạng zig-zag mở rộng và dạng lò xo dâm kết cặp cơ đáp ứng ưu tiên dịch chuyển theo phương z trong khi chống lại các mode dao động khác không mong muốn đã được đề xuất và khảo sát bằng cả phương pháp giải tích và mô phỏng số sử dụng phương pháp phần tử hữu hạn.
2. Một bộ chấp hành có khả năng điều khiển độc lập dịch chuyển ba chiều xyz tích hợp trên một chíp lần đầu tiên đã được nghiên cứu và thiết kế. Bộ vì dịch chuyển ba chiều với khả năng điều khiển dịch chuyển độc lập dựa trên việc đề xuất phương pháp cách ly điện trong khi đảm bảo kết cặp cơ giữa các thành phần cấu trúc đã được thiết kế và mô phỏng. Mô hình lý thuyết cho khảo sát hoạt động của bộ chấp hành đã được xây dựng làm cơ sở cho việc thiết kế các bộ vì chấp hành có đặc trưng hoạt động theo yêu cầu.
3. Luận án cũng đã đề xuất quy trình công nghệ và chế tạo thành công mũi dò quét có kích thước ở thang nano dựa trên công nghệ quang khắc truyền thống và vì cơ khối ướt.
