THÔNG TIN TÓM TẮT VỀ NHỮNG KẾT LUẬN MỚI CỦA LUẬN ÁN TIẾN SĨ
(Thông tin đưa lên trang Web)
Tên luận án: Nghiên cứu chế tạo vật liệu nhạy khí trên cơ sở SnO2 và ZnO hoạt động ở nhiệt độ phòng/ tự đốt nóng nhằm phát triển cảm biến khí trên để dẻo
Ngành: Khoa học vật liệu Mã số: 9440122
Nghiên cứu sinh: Vô Thanh Được
Người hướng dẫn khoa học:
1. PGS.TS. Nguyễn Văn Duy
2. GS. Hugo Minh Hung Nguyen
Cơ sở đào tạo: Đại học Bách khoa Hà Nội
TÓM TẮT KẾT LUẬN MỚI CỦA LUẬN ÁN
1. Tối ưu hóa được quy trình thủy nhiệt và chế tạo thành công các cấu trúc thanh nano và dây nano của vật liệu ZnO mọc trực tiếp lên trên chíp điện cực. Các cảm biến có thể phát hiện được khí NO2 ở nhiệt độ phòng và phù hợp để phát triển các cảm biến khí trên để dẻo.
2. Tối ưu hóa được quy trình chế tạo các cấu trúc dây nano rẽ nhánh giữa hai vật liệu SnO2 và ZnO theo phương pháp bốc bay nhiệt bằng hệ CVD. Các cấu trúc gồm: SnO2/ZnO, ZnO/SnO2, SnO2/SnO2 và ZnO/ZnO. Tại nồng độ 1 ppm khí NO2 ở nhiệt độ phòng, cấu trúc SnO2/ZnO cho độ đáp ứng 390 lần và có độ chọn lọc rất cao. Các cấu trúc vật liệu chế tạo được phù hợp để phát triển cảm biến khí trên để dẻo.
3. Bằng phương pháp phún xạ DC, chế tạo thành công cảm biến khí H2 hoạt động được ở nhiệt độ phòng/ tự đốt nóng dùng vật liệu màng mỏng SnO2/Pt trên để dẻo Kapton. Khi hoạt động theo hiệu ứng tự đốt nóng, cảm biến cho độ đáp ứng 3 lần tại nồng độ 500 ppm khí H2 với công suất tiêu thụ cực thấp (89 µW). Còn khi hoạt động dựa trên hiệu ứng Schottky, độ đáp ứng của cảm biến đạt tới 991 lần ở nồng độ 2000 ppm khí H2.
