THÔNG TIN TÓM TẮT VỀ NHỮNG KẾT LUẬN MỚI CỦA LUẬN ÁN TIẾN SĨ
(Thông tin đưa lên trang Web)
Tên luận án: “Xác định các thuộc tỉnh plasma ion hỏa yêu trong va chạm electron của phân tử khi TRIES và khả năng ứng dụng trong công nghệ chế tạo vi mạch”.
Chuyên ngành: Kỹ thuật điện tử
Mã số: 9520203
Họ tên nghiên cứu sinh: Phan Thị Tươi
Họ tên cán bộ hướng dẫn:
Hướng dẫn 1: PGS.TS Đỗ Anh Tuấn
Hướng dẫn 2: PGS. TS Phạm Ngọc Thắng
Cơ sở đào tạo: Trường Đại học sư phạm kỹ thuật Hưng Yên
TÓM TẮT KẾT LUẬN MỚI CỦA LUẬN ÁN
1. Xác định được bộ tiết diện va chạm electron của phân tử khí TRIES;
2. Xác định được các thuộc tỉnh plasma ion hóa yếu trong va chạm electron của phân tử khí dạng hợp chất hữu cơ (phân tử khí TRIES) thông qua tính toán được các thông số vật lý trong các hỗn hợp khí của phân tử khi TRIES với các chất khí khác trong phóng điện khí là dữ liệu đầu vào cho mô hình plasma ứng dụng trong công nghệ chế tạo vi mạch.
3. Sản phẩm nghiên cứu của luận án có tác dụng định hưởng ứng dụng trong công nghệ chế tạo vì mạch.
